JIS C 5630-26:2017
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 26. Описание и методы измерения микротраншейных и игольчатых структур.

Стандартный №

JIS C 5630-26:2017

Дата публикации

2017

Разместил

Japanese Industrial Standards Committee (JISC)

Последняя версия

JIS C 5630-26:2017

JIS C 5630-26:2017 История

• 2017 JIS C 5630-26:2017 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 26. Описание и методы измерения микротраншейных и игольчатых структур.