GB/T 14604-1993
Газы для электронной промышленности. Кислород (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- GB/T 14604-1993
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 1993
- Разместил
- General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
- состояние
- 2010-05
- быть заменен
- GB/T 14604-2009
- Последняя версия
- GB/T 14604-2009
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет технические требования, методы контроля, правила контроля и упаковку продукции, маркировку, транспортировку, хранение и требования безопасности для газообразного кислорода и нерасфасованного жидкого кислорода, используемых в электронной промышленности. Кислород, используемый в электронной промышленности, в основном используется для химического осаждения диоксида кремния из паровой фазы, в качестве источника окисления и реагента для получения воды высокой чистоты, а также для плазменного травления и очистки. Также доступен для оптоволокна. Молекулярная формула: O2. Относительная молекулярная масса: 31,999 (Международная таблица относительных атомных масс 1989 г.).
GB/T 14604-1993 История
- 2009 GB/T 14604-2009 Газ для электронной промышленности.Кислород
- 1993 GB/T 14604-1993 Газы для электронной промышленности. Кислород
