Настоящий стандарт определяет технические требования, методы испытаний, правила приемки и требования к упаковке, маркировке, хранению и транспортировке бутилированной закиси азота — газа, используемого в электронной промышленности. Настоящий стандарт распространяется на закись азота, полученную в результате термического разложения нитрата аммония. Этот продукт в основном используется при химическом осаждении из паровой фазы и плазменном процессе диоксида кремния в электронной промышленности. Молекулярная формула: N2O. Относительная молекулярная масса: 44,01 (согласно международной относительной атомной массе 1989 г.).
GB/T 14600-1993 История
2009GB/T 14600-2009 Газ для электронной промышленности. Закись азота
1993GB/T 14600-1993 Газы для электронной промышленности. Оксид азота