IEC 62047-28:2017
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 28. Метод испытания рабочих характеристик вибрационных МЭМС электретных устройств сбора энергии.
- Стандартный №
- IEC 62047-28:2017
- Дата публикации
- 2017
- Разместил
- International Electrotechnical Commission (IEC)
- Последняя версия
- IEC 62047-28:2017
- заменять
- IEC 47F/266/FDIS:2016
- сфера применения
- В этой части IEC 62047 указаны термины и определения, а также метод тестирования рабочих характеристик электретных устройств MEMS с вибрацией для определения характерных параметров для потребителей, промышленности или любого применения. Настоящий документ распространяется на электретные устройства сбора энергии с вибрационным приводом, электроды которых с зазором менее 1000 мкм покрыты диэлектрическим материалом с захваченными зарядами и изготовлены с помощью процессов MEMS, таких как травление, фотолитография или осаждение.
IEC 62047-28:2017 История
- 2017 IEC 62047-28:2017 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 28. Метод испытания рабочих характеристик вибрационных МЭМС электретных устройств сбора энергии.
