BS ISO 16700:2016
Отслеживаемые изменения. Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения

Стандартный №

BS ISO 16700:2016

Дата публикации

2016

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

BS ISO 16700:2016

заменять

BS ISO 16700:2004

сфера применения

Настоящий международный стандарт определяет метод калибровки увеличения изображений, полученных с помощью сканирующего электронного микроскопа (СЭМ) с использованием соответствующих эталонных материалов. Этот метод ограничен увеличениями, определяемыми диапазоном размеров структур, доступных в калибровочном эталонном материале. Настоящий международный стандарт не применим к специализированным сканирующим электронным микроскопам для измерения критических размеров.

BS ISO 16700:2016 Ссылочный документ

• ISO 5725-1 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 1. Общие принципы и определения.*， 2023-07-01 Обновление
• ISO Guide 30 Стандартные материалы. Отдельные термины и определения. Поправка 1. Пересмотр определений стандартных образцов и сертифицированных стандартных образцов.
• ISO Guide 34 Общие требования к компетентности производителей стандартных образцов
• ISO Guide 35 Сертификация стандартных образцов. Общие и статистические принципы*， 2017-08-21 Обновление
• ISO/IEC 17025:2005 Общие требования к компетентности испытательных и калибровочных лабораторий
• ISO/IEC Guide 98-3 Неопределенность измерения - Руководство по выражению неопределенности измерения (ГУМ:1995). Расширение на любое количество выходных величин

BS ISO 16700:2016 История

• 2016 BS ISO 16700:2016 Отслеживаемые изменения. Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения
• 2004 BS ISO 16700:2004 Микролучевой анализ. Сканирующая электронная микроскопия. Рекомендации по калибровке увеличения изображения.

Специальные темы по стандартам и нормам

стандарты и спецификации