GB/T 32814-2016
Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Спецификация критерия процесса МЭМС на основе пластин КНИ. (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 32814-2016

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2016

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 32814-2016

сфера применения

Этот стандарт определяет технологические требования и требования к контролю качества, которые следует соблюдать при использовании кремниевых пластин SOI для обработки устройств MEMS. Настоящий стандарт применяется к обработке и контролю качества устройств MEMS на основе кремниевых пластин SOI в технологии производства MEMS на основе кремния.

GB/T 32814-2016 Ссылочный документ

• GB 50073 Код проектирования чистого помещения
• GB/T 26111 Техническая терминология микроэлектромеханических систем (МЭМС)*， 2023-05-23 Обновление

GB/T 32814-2016 История

• 2016 GB/T 32814-2016 Технология изготовления МЭМС на основе кремния. Спецификация критерия процесса МЭМС на основе пластин КНИ.