BS EN 62047-26:2016
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Описание и методы измерения микротраншейных и игольчатых структур.
- Стандартный №
- BS EN 62047-26:2016
- Дата публикации
- 2016
- Разместил
- British Standards Institution (BSI)
- Последняя версия
- BS EN 62047-26:2016
BS EN 62047-26:2016 Ссылочный документ
- EN ISO 3274:1997 Геометрические характеристики изделия (GPS) – Текстура поверхности: метод профиля – Номинальные характеристики контактных (щуповых) инструментов
- ISO 129-1 Техническая документация на продукцию (ТПД). Представление размеров и допусков. Часть 1. Общие принципы. Поправка 1.*， 2020-03-09 Обновление
- ISO 3274:1996 Геометрические характеристики изделия (GPS) - Текстура поверхности: Метод профиля - Номинальные характеристики контактных (щуповых) инструментов
- ISO/IEC Guide 98-3:2008 Неопределенность измерения. Часть 3. Руководство по выражению неопределенности измерения (GUM:1995).
BS EN 62047-26:2016 История
- 2016 BS EN 62047-26:2016 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Описание и методы измерения микротраншейных и игольчатых структур.
