GB/T 14145-1993
Определение плотности дефектов упаковки эпитаксиального слоя кремния методом интерференционной фазово-контрастной микроскопии (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 14145-1993

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

1993

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

состояние

снять со счета

Последняя версия

GB/T 14145-1993

сфера применения

Настоящий стандарт определяет метод неразрушающего измерения плотности дефектов упаковки эпитаксиальных слоев кремния с использованием интерференционного фазово-контрастного микроскопа. Настоящий стандарт применим для измерения плотности дефектов упаковки образцов, у которых толщина эпитаксиального слоя кремния составляет не менее 3 мкм, а кристаллическая ориентация эпитаксиального слоя отклоняется от кристаллической плоскости {111} или кристаллической плоскости {100} с небольшой угол. Когда плотность дефектов упаковки превышает 15000 см-2 или когда кристаллическая ориентация эпитаксиального слоя отклоняется от кристаллической плоскости {111} или кристаллической плоскости {100}, точность измерения снижается.

GB/T 14145-1993 История

• 1993 GB/T 14145-1993 Определение плотности дефектов упаковки эпитаксиального слоя кремния методом интерференционной фазово-контрастной микроскопии