GB/T 32277-2015
Метод инструментального нейтронно-активационного анализа кремния (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 32277-2015

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2017

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 32277-2015

сфера применения

1.1 Настоящий стандарт определяет метод инструментального нейтронно-активационного анализа кремниевых материалов. 1.2 «Настоящий стандарт распространяется на инструментальный нейтронно-активационный анализ кремниевых материалов, полученных методами химического осаждения из паровой фазы или металлургической очистки. Образцы для анализа могут представлять собой монокремний или поликристаллический кремний, а форма поликристаллического кремния может быть порошком, гранулами, блоками или кремнием. пластина 1.3» Настоящий стандарт распространяется на анализ макроскопического состава материалов. Если в соответствии с этим методом испытаний выполняется дополнительная подготовка пробы и предотвращается поверхностное загрязнение во время извлечения, транспортировки и подготовки пробы, можно также провести анализ поверхности или приповерхностной области пробы. 1.4 Этот метод испытаний применим только к анализу активации тепловыми нейтронами или эпитепловыми нейтронами микроэлементов, перечисленных в Приложении А. 1.5 Этот метод испытаний не применим к анализу тонкой пленки аморфного кремния, тонкой пленки поликристаллического кремния или тонкой пленки микрокристаллического кремния. . Образцы кремния, искусственно легированные высокими концентрациями специальных элементов, не входят в область применения этого метода испытаний, но после проверки влияния легирования на безопасность, предел обнаружения и минимальное время ожидания tw этот метод испытаний все еще может быть применим. 1.6 Данный метод испытаний предназначен для анализа широкого спектра микроэлементов (см. Приложение А). Как правило, время облучения образца должно превышать срок обучения «Si», и анализ следует проводить после того, как «Si», созданный в результате повторного облучения, достаточно распадется.

GB/T 32277-2015 Ссылочный документ

• GB 18871  Основные стандарты защиты от ионизирующего излучения и безопасности источников излучения
• GB/T 14264 Полупроводниковые материалы. Термины и определения
• GB/T 620 Химический реактив — плавиковая кислота.
• GB/T 626 Химический реактив Азотная кислота
• GJB 2253 Рекомендации по безопасному использованию азота и жидкого азота
• ISO 11929:2010 Определение характерных пределов (порога принятия решения, предела обнаружения и пределов доверительного интервала) для измерений ионизирующего излучения. Основы и применение.

GB/T 32277-2015 История

• 2017 GB/T 32277-2015 Метод инструментального нейтронно-активационного анализа кремния