Настоящий стандарт определяет требования, методы испытаний, правила контроля и маркировку, упаковку, транспортировку, хранение, сертификат качества и содержание формы заказа (или контракта) на мишени из кобальта высокой чистоты для электронных тонких пленок (далее - мишени из кобальта высокой чистоты). ). Настоящий стандарт распространяется на различные типы кобальтовых мишеней высокой чистоты, используемых в производстве тонких электронных пленок.
YS/T 1053-2015 История
2015YS/T 1053-2015 Мишень для распыления кобальта высокой чистоты, используемая в электронной пленке