Настоящий стандарт определяет терминологию, свойства, технические требования, методы испытаний, правила проверки и упаковки, маркировки, хранения, транспортировки и т. д. проявителей позитивных пленок для интегральных схем. Настоящий стандарт распространяется на проявители положительного резиста для интегральных схем, именуемые в дальнейшем проявители положительного резиста. Этот стандарт не предполагает использования вопросов безопасности. Пользователь настоящего стандарта несет ответственность за установление соответствующих мер безопасности и гигиены труда, а также ограничений использования.
SJ/T 11508-2015 История
2015SJ/T 11508-2015 Проявитель позитивного фоторезиста для интегральных схем