Настоящий стандарт определяет метод испытания шероховатости поверхности монокристаллических полированных пластин карбида кремния, включая метод профилометра поверхности и метод атомно-силовой микроскопии. Настоящий стандарт распространяется на испытание шероховатости поверхности полированных пластин монокристалла карбида кремния. Среди них метод атомно-силовой микроскопии применим только к монокристаллическим полированным пластинам карбида кремния, которые были подвергнуты химически-механической или оптической полировке и имеют колебания шероховатости поверхности в диапазоне от нескольких десятых нанометра до нескольких микрон.
SJ/T 11503-2015 История
2015SJ/T 11503-2015 Методы испытаний измерения шероховатости поверхности полированных пластин монокристаллического карбида кремния