SJ/T 11498-2015
Метод испытаний для измерения загрязнения кислородом сильнолегированных кремниевых подложек методом вторичной ионной масс-спектрометрии (Англоязычная версия)
- Стандартный №
- SJ/T 11498-2015
- язык
- Китайский, Доступно на английском
- Дата публикации
- 2015
- Разместил
- Professional Standard - Electron
- Последняя версия
- SJ/T 11498-2015
- сфера применения
- Настоящий стандарт определяет метод определения общей концентрации кислорода в монокристалле сильнолегированной кремниевой подложки с помощью масс-спектрометрии вторичных ионов (SIMS). Настоящий стандарт применим к легирующим концентрациям бора, сурьмы, мышьяка и фосфора.
SJ/T 11498-2015 История
- 2015 SJ/T 11498-2015 Метод испытаний для измерения загрязнения кислородом сильнолегированных кремниевых подложек методом вторичной ионной масс-спектрометрии
Специальные темы по стандартам и нормам
Метод определения концентрации ионов двухвалентной меди
Строительство Центра протонов и тяжелых ионов
Содержание ионов металлов на кремниевой подложке
вторичные ионы
Кислород в сильнолегированном кремнии
концентрация кислорода
кислород в кремнии
кремниевая подложка
концентрация допинга
концентрация сильнолегированных носителей
стандарты и спецификации
ASTM F1528-94(1999 Стандартный метод испытаний для измерения загрязнения бором в сильно легированных кремниевых подложках N-типа с помощью вторичной ионной масс-спектрометрии
ASTM F1617-98(2002 Стандартный метод испытаний для измерения поверхностного натрия, алюминия, калия и железа на кремниевых и EPI-подложках с помощью вторичной ионной масс
ASTM F1366-92(2002 Стандартный метод определения концентрации кислорода в сильнолегированных кремниевых подложках с помощью вторичной ионной масс-спектрометрии
ASTM F1366-92(1997)e1 Стандартный метод измерения концентрации кислорода в сильнолегированных кремниевых подложках методом вторичной ионной масс-спектрометрии
ISO/TS 22933:2022 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод измерения массового разрешения в ВИМС
ASTM F1617-98 Стандартный метод испытаний для измерения поверхностного содержания натрия, алюминия, калия и железа на кремниевых и EPI-подложках методом вторичной ионной масс
ISO 20411:2018 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод коррекции насыщенной интенсивности при динамическом масс-спектрометрии вторичных ионов
BS ISO 20411:2018 Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод коррекции насыщенной интенсивности в динамической масс-спектрометрии вторичных ионов
AS ISO 17560:2006 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Метод глубинного профилирования бора в кремнии
ISO 18114:2021 Химический анализ поверхности. Вторично-ионная масс-спектрометрия. Определение коэффициентов относительной чувствительности на основе ионно-имплантированных