Этот стандарт содержит рекомендации по коэффициентам пересчета межузельного кислорода в кремнии. Настоящий стандарт распространяется на определение содержания межузельного кислорода в монокристаллах кремния n-типа с удельным сопротивлением более 0,1 Ом·см и монокристаллах кремния p-типа с удельным сопротивлением более 0,5 Ом·см при комнатной температуре.
SJ/T 11495-2015 История
2015SJ/T 11495-2015 Справочник по коэффициентам пересчета межузельного кислорода в кремнии