General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 31058-2014
сфера применения
Настоящий стандарт устанавливает технические требования, методы испытаний, обозначения, упаковку, транспортировку и хранение тетрафторида кремния. Настоящий стандарт распространяется на тетрафторид кремния, полученный сернокислотным методом флюорита, методом термического разложения гексафторосиликата и прямым фторированием элементарного кремния. Он в основном используется в качестве сырья для плазменного травления, легирования светодиодов P-типа, процесса ионной имплантации, эпитаксиального осаждения и диффузии источника кремния и кварцевого стекла высокой чистоты для оптического волокна в электронной промышленности, а также важное сырье для производства поликремния. Молекулярная формула: SiF4. Относительная молекулярная масса: 104,0786128 (согласно международной атомной относительной массе 2009 г.).
GB/T 31058-2014 Ссылочный документ
GB 14194 Правила наполнения постоянных газовых баллонов
GB 15258 Общие правила оформления предупредительной этикетки для химических веществ
GB 16804 Предупредительные этикетки для газовых баллонов