KS C 6521-2008
Метод оценки покрытия компонентов полупроводникового и ЖК-процесса

Стандартный №

KS C 6521-2008

Дата публикации

2008

Разместил

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

состояние

быть заменен

быть заменен

KS C 6521-2019

Последняя версия

KS C 6521-2021

сфера применения

Настоящий стандарт распространяется на травление во время обработки полупроводников/ЖК-дисплеев или нанесение покрытий внутри технологического оборудования для химического осаждения из паровой фазы (CVD).

KS C 6521-2008 История

• 2021 KS C 6521-2021 Метод оценки покрытия компонентов полупроводникового и ЖК-процесса
• 2019 KS C 6521-2019 Метод оценки покрытия компонентов полупроводникового и ЖК-процесса
• 2008 KS C 6521-2008 Метод оценки покрытия компонентов полупроводникового и ЖК-процесса