General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 30654-2014
сфера применения
Настоящий стандарт определяет метод определения постоянной решетки эпитаксиальных пластин III-нитрида методом дифракции рентгеновских лучей высокого разрешения. Настоящий стандарт распространяется на нитриды (Ga, In и др.), выращенные на оксидных подложках (Al2O3, ZnO и др.), А1) Измерение постоянной решетки N-монослойных или многослойных гетероэпитаксиальных пластин. Измерение постоянной решетки других гетерогенных эпитаксиальных пластин также может соответствовать этому стандарту.
GB/T 30654-2014 История
2014GB/T 30654-2014 Метод определения постоянной решетки эпитаксиальных слоев Ⅲ-нитрида