ISO 22493:2014
Микролучевой анализ - Сканирующая электронная микроскопия - Словарь

сфера применения: Настоящий международный стандарт определяет термины, используемые в практике сканирующей электронной микроскопии (СЭМ). Он охватывает как общие, так и специфические понятия, классифицированные в соответствии с их иерархией в систематическом порядке, при этом, где это уместно, включены также термины, уже определенные в ISO 23833. Настоящий международный стандарт применим ко всем стандартизационным документам, имеющим отношение к практике СЭМ. Кроме того, некоторые положения настоящего международного стандарта применимы к документам, относящимся к смежным областям (например, ЭПМА, АЭМ, ЭДС), для определения терминов, имеющих отношение к таким областям.

ISO 22493:2014 Ссылочный документ

ISO 10241:1992 Международные терминологические стандарты; подготовка и расстановка
ISO 1087-1:2000 Терминологическая работа - Словарь - Часть 1: Теория и применение
ISO 18115-1:2013 Химический анализ поверхности.Словарь.Часть 1: Общие термины и термины, используемые в спектроскопии.
ISO 23833:2013 Микролучевой анализ - Электронно-зондовый микроанализ (ЭПМА) - Словарь
ISO 704:2009 Терминологическая работа – Принципы и методы

2014 ISO 22493:2014 Микролучевой анализ - Сканирующая электронная микроскопия - Словарь
2008 ISO 22493:2008 Микролучевой анализ - Сканирующая электронная микроскопия - Словарь