ISO 14644-6:2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 6. Словарь
GOST R ISO 14644-9-2013 История
2013GOST R ISO 14644-9-2013 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц