Настоящий стандарт охватывает технологии, связанные с оборудованием для производства полупроводников, предназначенным для производства (обработки), измерения, сборки и тестирования полупроводников.
KS C IEC 60204-33:2010 История
0000 KS C IEC 60204-33-2010(2020)
2010KS C IEC 60204-33:2010 Руководство по безопасности для оборудования для производства полупроводников