DS/EN ISO 25178-604:2013
Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 604. Номинальные характеристики бесконтактных приборов (интерферометрия когерентного сканирования)

Стандартный №

DS/EN ISO 25178-604:2013

Дата публикации

2013

Разместил

Danish Standards Foundation

Последняя версия

DS/EN ISO 25178-604:2013

сфера применения

Настоящий стандарт описывает метрологические характеристики систем когерентной сканирующей интерферометрии (CSI) для трехмерного картирования высоты поверхности.

DS/EN ISO 25178-604:2013 История

• 2013 DS/EN ISO 25178-604:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 604. Номинальные характеристики бесконтактных приборов (интерферометрия когерентного сканирования)