ISO 25178-603:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 603: Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (фазосдвигающая интерферометрическая микроскопия)
В этой части ISO 25178 описаны метрологические характеристики фазосдвигающих интерферометрических (PSI) микроскопов для измерения профиля и поверхностной текстуры.
ISO 25178-603:2013 История
2025ISO 25178-603:2025 Геометрические характеристики продукта (GPS) — Текстура поверхности: Плоская — Часть 603: Конструкция и характеристики бесконтактных (фазосдвигающая интерферометрия) приборов
2013ISO 25178-603:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 603: Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (фазосдвигающая интерферометрическая микроскопия)