ISO 25178-603:2013
Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 603: Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (фазосдвигающая интерферометрическая микроскопия)
- Стандартный №
- ISO 25178-603:2013
- Дата публикации
- 2013
- Разместил
- International Organization for Standardization (ISO)
- Последняя версия
- ISO 25178-603:2013
- сфера применения
- В этой части ISO 25178 описаны метрологические характеристики фазосдвигающих интерферометрических (PSI) микроскопов для измерения профиля и поверхностной текстуры.
ISO 25178-603:2013 История
- 2013 ISO 25178-603:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 603: Номинальные характеристики бесконтактных инструментов (фазосдвигающая интерферометрическая микроскопия)
