YS/T 893-2013
Титановая мишень высокой чистоты, используемая в электронных пленках (Англоязычная версия)

Стандартный №

YS/T 893-2013

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2013

Разместил

Professional Standard - Non-ferrous Metal

Последняя версия

YS/T 893-2013

сфера применения

Настоящий стандарт устанавливает требования, методы испытаний, правила и знаки контроля, упаковку, транспортирование, хранение, сертификацию качества и договоры (заказы) на мишени для распыления из титана высокой чистоты для тонких пленок электронной техники. Настоящий стандарт распространяется на все виды титановых мишеней для распыления, используемых при производстве тонких электронных пленок.

YS/T 893-2013 Ссылочный документ

• GB/T 1031 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Метод профиля. Параметры шероховатости поверхности и их значения.
• GB/T 4698.14 Методы химического анализа титановой губки, титана и титановых сплавов. Определение содержания углерода.
• GB/T 4698.15 Методы химического анализа губчатого титана, титана и титановых сплавов. Определение содержания водорода.
• GB/T 4698.7 Методы химического анализа губчатого титана, титана и титановых сплавов. Определение содержания кислорода и азота.
• GB/T 6394 Определение ориентировочного среднего размера зерна металла*， 2017-02-28 Обновление
• GJB 1580A Ультразвуковой контроль деформированного металла*， 2019-12-08 Обновление
• YS/T 837 Стандартная практика ультразвуковой оценки связи C-сканирования узлов распыляемой мишени с опорной пластиной
• YS/T 891 Методы химического анализа титана высокой чистоты.Определение содержания микроэлементов-примесей.Масс-спектрометрия тлеющего разряда.
• YS/T 892 Методы химического анализа титана высокой чистоты.Определение содержания микроэлементов-примесей.Масс-спектрометрия с индуктивно связанной плазмой.

YS/T 893-2013 История

• 2013 YS/T 893-2013 Титановая мишень высокой чистоты, используемая в электронных пленках