DS/EN 62276:2013
Монокристаллические пластины для устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Технические характеристики и методы измерения

Стандартный №

DS/EN 62276:2013

Дата публикации

2013

Разместил

Danish Standards Foundation

Последняя версия

DS/EN 62276:2013

заменять

DS/EN 62276-2005

сфера применения

МЭК 62276:2012 применяется к производству монокристаллических пластин синтетического кварца, ниобата лития (LN), танталата лития (LT), тетрабората лития (LBO) и силиката галлия лантана (LGS), предназначенных для использования в качестве подложек при изготовлении поверхности.

DS/EN 62276:2013 История

• 2013 DS/EN 62276:2013 Монокристаллические пластины для устройств на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Технические характеристики и методы измерения