ISO 25178-604:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 604: Номинальные характеристики бесконтактных (когерентно-сканирующая интерферометрия) приборов.
International Organization for Standardization (ISO)
Последняя версия
ISO 25178-604:2013
сфера применения
Эта часть ISO 25178 определяет метрологические характеристики систем когерентной сканирующей интерферометрии (CSI) для трехмерного картирования высоты поверхности.
ISO 25178-604:2013 История
2013ISO 25178-604:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 604: Номинальные характеристики бесконтактных (когерентно-сканирующая интерферометрия) приборов.