GB/T 29658-2013
Мишень из распыленного алюминия и алюминиевого сплава высокой чистоты, используемая в электронной пленке (Англоязычная версия)

Стандартный №

GB/T 29658-2013

язык

Китайский, Доступно на английском

Дата публикации

2013

Разместил

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Последняя версия

GB/T 29658-2013

сфера применения

Этот стандарт определяет требования, методы испытаний, правила и знаки проверки, упаковку, транспортировку, хранение, форму заказа (или контракта) и другое содержание мишеней из алюминия высокой чистоты и алюминиевых сплавов, используемых при изготовлении тонких электронных пленок. Настоящий стандарт распространяется на все виды распыляемых мишеней из алюминия и алюминиевых сплавов высокой чистоты для тонких пленок электроники (далее - алюминиевые мишени).

GB/T 29658-2013 Ссылочный документ

• GB/T 14265 Общие правила химического анализа на водород, кислород, азот, углерод и серу в металлических материалах*， 2017-10-14 Обновление
• GB/T 15823 Неразрушающий контроль. Методы испытаний на утечку гелием.
• GB/T 1804 Общие допуски Допуски линейных и угловых размеров без индивидуальных указаний допусков
• GB/T 20975.25 Методы химического анализа алюминия и алюминиевых сплавов. Часть 25. Определение содержания элементов. Атомно-эмиссионный спектрометрический метод с индуктивно связанной плазмой.*， 2020-06-02 Обновление
• GB/T 6394 Определение ориентировочного среднего размера зерна металла*， 2017-02-28 Обновление
• GJB 1580A Ультразвуковой контроль деформированного металла*， 2019-12-08 Обновление
• JB/T 4734 Алюминиевые сварные сосуды
• YS/T 837 Стандартная практика ультразвуковой оценки связи C-сканирования узлов распыляемой мишени с опорной пластиной
• YS/T 871 Химический анализ алюминия высокой чистоты.Определение микропримесей.Масс-спектрометрия тлеющего разряда.

GB/T 29658-2013 История

• 2013 GB/T 29658-2013 Мишень из распыленного алюминия и алюминиевого сплава высокой чистоты, используемая в электронной пленке