Настоящий стандарт определяет метод анализа дифракции обратного рассеяния электронов. Настоящий стандарт применяется к анализу идентификации фаз, ориентации кристаллов, характеристик микроструктуры и границ зерен в сканирующем электронном микроскопе и электронном зонде, установленном с принадлежностями для дифракции обратного рассеяния электронов.