DS/EN ISO 14644-10:2013 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических веществ.
ISO 14644-10:2012 определяет систему классификации чистоты поверхностей в чистых помещениях с учетом присутствия химических соединений или элементов (включая молекулы, ионы, атомы и частицы). Применяется ко всем твердым поверхностям в Cleanro.
DS/EN ISO 14644-10:2013 История
2013DS/EN ISO 14644-10:2013 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 10. Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических веществ.