DS/EN 62047-14:2012
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 14. Метод измерения пределов формирования металлических пленочных материалов.

Стандартный №

DS/EN 62047-14:2012

Дата публикации

2012

Разместил

Danish Standards Foundation

Последняя версия

DS/EN 62047-14:2012

сфера применения

В стандарте IEC 62047-14:2012 описаны определения и процедуры измерения предела формирования металлических пленочных материалов толщиной от 0,5 мкм до 300 мкм. Описанные здесь металлические пленочные материалы обычно используются в электрических компонентах, MEMS и

DS/EN 62047-14:2012 История

• 2012 DS/EN 62047-14:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 14. Метод измерения пределов формирования металлических пленочных материалов.