EN ISO 25178-604:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 604. Номинальные характеристики бесконтактных приборов (интерферометрия когерентного сканирования)
Настоящая часть ISO 25178 применяется к метрологическим характеристикам систем когерентной сканирующей интерферометрии (CSI) для трехмерного изображения высот поверхности.
EN ISO 25178-604:2013 История
2013EN ISO 25178-604:2013 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: Площадь. Часть 604. Номинальные характеристики бесконтактных приборов (интерферометрия когерентного сканирования)