Стандарт описывает возможности контроля стабильности систем измерения формы. Мониторинг стабильности необходим для оценки долговременного поведения измерительных процессов. Он служит доказательством неизменно правильных результатов измерений. Описываемый мониторинг устойчивости содержит выполнение плановых измерений на месте установки для подтверждения характеристик приборов в заданных предельных значениях. Документирование результатов измерений осуществляется в виде диаграмм SPC, обеспечивающих представление характеристик приборов во времени и позволяющих, при необходимости, целенаправленно вмешаться в ремонт.