LST EN ISO 14644-9:2012 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц (ISO 14644-9:2012)
2012LST EN ISO 14644-9:2012 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц (ISO 14644-9:2012)