DIN EN ISO 14644-9:2012 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц (ISO 14644-9:2012); Немецкая версия EN ISO 14644-9:2012.

сфера применения: Эта часть ISO 14644 устанавливает классификацию уровней чистоты твердых поверхностей по концентрации частиц в чистых помещениях и связанных с ними приложениях с контролируемой средой. Рекомендации по методам испытаний и измерений, а также информация о характеристиках поверхности приведены в приложениях от A до D. Данная часть ISO 14644 применяется ко всем твердым поверхностям в чистых помещениях и связанных с ними контролируемых средах, таких как стены, потолки, полы, рабочие помещения. , инструменты, оборудование и изделия. Классификация чистоты поверхности по концентрации частиц (SCP) ограничивается частицами размером от 0,05 мкм до 500 мкм.

DIN EN ISO 14644-9:2012 Ссылочный документ

ISO 14644-6:2007 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 6. Словарь

2022 DIN EN ISO 14644-9:2022-10 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Оценка чистоты поверхности по концентрации частиц (ISO 14644-9:2022); Немецкая версия EN ISO 14644-9:2022.
1970 DIN EN ISO 14644-9 E:2022-02
2012 DIN EN ISO 14644-9:2012 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностей по концентрации частиц (ISO 14644-9:2012); Немецкая версия EN ISO 14644-9:2012.
2008 DIN EN ISO 14644-9:2008 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 9. Классификация чистоты поверхностных частиц (ISO/DIS 14644-9:2008); Немецкая версия prEN ISO 14644-9:2008.