2022BS EN ISO 14644-9:2022 Отслеживаемые изменения. Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Оценка чистоты поверхности по концентрации частиц
2012BS EN ISO 14644-9:2012 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Классификация чистоты поверхности по концентрации частиц