В этой части IEC 62047 описывается метод испытаний на сжатие микростолбиков для измерения сжимающих свойств материалов MEMS с высокой точностью, повторяемостью и умеренными усилиями при изготовлении образцов. Измеряется одноосное сжимающее соотношение напряжения и деформации образца, и могут быть получены модуль упругости при сжатии и предел текучести. (отношение диаметра столба к высоте столба) должно быть более 3. Настоящий стандарт распространяется на металлические, керамические и полимерные материалы.
DS/EN 62047-10:2011 История
2011DS/EN 62047-10:2011 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 10. Испытание на сжатие микростолбиков материалов МЭМС.