Настоящий стандарт устанавливает термины и определения, классификацию и маркировку, материалы, требования, методы испытаний, правила контроля, обозначения, упаковку, транспортировку и хранение приборов из прозрачного кварцевого стекла для полупроводников. Настоящий стандарт распространяется на устройства из прозрачного кварцевого стекла, используемые в производстве полупроводников, включая диффузионные трубки из прозрачного кварцевого стекла, лодочки из прозрачного кварцевого стекла, изоляционные бочки из прозрачного кварцевого стекла, кронштейны из прозрачного кварцевого стекла, прозрачные кварцевые бутылки и прозрачные кварцевые резервуары для очистки. Устройства из прозрачного кварцевого стекла для других целей могут соответствовать настоящему стандарту.
JC/T 181-2011 Ссылочный документ
JC/T 2064-2011 Прозрачные стержни из кварцевого стекла для полупроводников.
JC/T 597-2011 Прозрачные трубки из кварцевого стекла для полупроводников
JC/T 181-2011 История
2011JC/T 181-2011 Приборы из прозрачного кварцевого стекла для полупроводников
1981JC/T 181-1981 QSY, DSY прибор из прозрачного кварцевого стекла