EN 62047-13:2012
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 13. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления для МЭМС-структур.

Стандартный №

EN 62047-13:2012

Дата публикации

2012

Разместил

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Последняя версия

EN 62047-13:2012

EN 62047-13:2012 История

• 2012 EN 62047-13:2012 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 13. Методы испытаний на изгиб и сдвиг для измерения прочности сцепления для МЭМС-структур.