Настоящее руководство касается постоянного мониторинга отдельных параметров контролируемой среды в зависимости от установки. Мониторинг может быть непрерывным (давление, температура, влажность) или последовательным (микробиологический). Руководство применимо к классическому мониторингу, т.е. постоянной проверке параметров, но не к периодическим измерениям в целях квалификации. В руководстве не указаны микробиологические методы. Он определяет методы измерений на установках в чистых помещениях и необходимое оборудование для определения стандарта. Спецификации, касающиеся контрольных измерений, призваны помочь пользователю в выборе методов, позволяющих определять отклонения от требований, связанные с установкой и процессом, во время эксплуатации. Данное руководство не распространяется на регистраторы данных, которые сохраняют данные для считывания через определенные промежутки времени. С другой стороны, не исключаются регистраторы данных, которые немедленно передают данные в главную систему, т.е. регистраторы, которые используются просто как датчики.
DIN EN ISO 14644-1:1999 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха (ISO 14644-1:1999); Немецкая версия EN ISO 14644-1:1999.
DIN EN ISO 14644-2:2001 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 2. Спецификации для испытаний и мониторинга для подтверждения постоянного соответствия ISO 14644-1 (ISO 14644-2:2000); Немецкая версия EN ISO 14644-2:2000.
DIN EN ISO 14644-3:2006 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 3. Методы испытаний (ISO 14644-3:2005); Английская версия DIN EN ISO 14644-3:2006-03
DIN EN ISO 14644-4:2003 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 4. Проектирование, строительство и запуск (ISO 14644-4:2001); Немецкая версия EN ISO 14644-4:2001.
DIN EN ISO 14644-7:2005 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 7. Изолирующие устройства (вытяжные шкафы, перчаточные боксы, изоляторы и мини-среды) (ISO 14644-7:2004); Немецкая версия EN ISO 14644-7:2004.
DIN EN ISO 7726:2002 Эргономика тепловой среды. Приборы для измерения физических величин (ISO 7726:1998); Немецкая версия EN ISO 7726:2001.
DIN EN ISO 9000:2005 Системы менеджмента качества. Основы и словарь (ISO 9000:2005); Трехъязычная версия EN ISO 9000:2005.
VDI 2083 Blatt 3.1-2012 История
2012VDI 2083 Blatt 3.1-2012 Технологии чистых помещений. Метрология воздуха в чистых помещениях. Мониторинг
2011VDI 2083 Blatt 3.1-2011 Технологии чистых помещений. Метрология и методы испытаний. Мониторинг.