Руководство описывает процедуры калибровки конфокальных микроскопов и эталоны установки глубины для измерения шероховатости и тем самым устанавливает основу для прослеживаемости измерительных систем до национальных стандартов. Сначала описывается процедура определения калибровочных возможностей. Указаны дополнительные основные условия калибровки, а также минимальные требования к процедуре калибровки. В заключение уточняются требования к отчету о калибровке. Дополняет инструкцию конформная модель GUM для определения неопределенности измерения.
VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010 История
2010VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2010 Оптическое измерение микротопографии. Калибровка конфокальных микроскопов и эталонов глубины для измерения шероховатости.
2009VDI/VDE 2655 Blatt 1.2-2009 Оптическое измерение микротопографии. Калибровка конфокальных микроскопов и эталонов глубины для измерения шероховатости.