EN 62047-9:2011
Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 9. Измерение прочности соединения между пластинами для МЭМС.

Стандартный №

EN 62047-9:2011

Дата публикации

2011

Разместил

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

Последняя версия

EN 62047-9:2011

EN 62047-9:2011 История

• 2011 EN 62047-9:2011 Полупроводниковые устройства. Микроэлектромеханические устройства. Часть 9. Измерение прочности соединения между пластинами для МЭМС.