GOST R 8.659-2009
Государственная система обеспечения единства измерений Приборы измерения характеристик ультрафиолетового излучения технологических испытаний нанофотолитографии.Порядок поверки

Стандартный №

GOST R 8.659-2009

Дата публикации

2009

Разместил

RU-GOST R

Последняя версия

GOST R 8.659-2009

GOST R 8.659-2009 Ссылочный документ

• GOST 8.197-2005 Государственная система обеспечения единства измерений. Схема государственной поверки приборов измерения спектральной яркости в спектральном диапазоне от 0,04 до 0,25 ?
• GOST 8.207-1976 Государственная система обеспечения единства измерений. Прямые измерения с множественными наблюдениями. Методы обработки результатов наблюдений. Основные принципы
• GOST 8.552-2001 Государственная система обеспечения единства измерений. Схема государственной поверки средств измерения лучистого потока и освещенности в спектральном диапазоне от 0,03 до 0,40 мкм

GOST R 8.659-2009 История

• 2009 GOST R 8.659-2009 Государственная система обеспечения единства измерений Приборы измерения характеристик ультрафиолетового излучения технологических испытаний нанофотолитографии.Порядок поверки