GOST R 8.592-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение рельефа монокристаллического кремния нанометрового диапазона. Геометрические формы, линейные размеры и требования к материалам изготовления.

Стандартный №

GOST R 8.592-2009

Дата публикации

2009

Разместил

RU-GOST R

Последняя версия

GOST R 8.592-2009

GOST R 8.592-2009 Ссылочный документ

• GOST 19658-1981 Монокристаллический кремний в слитках. Технические характеристики
• GOST 8.591-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Измеритель рельефа нанометрового диапазона с трапециевидным профилем элементов. Метод проверки
• GOST 8.593-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Атомно-силовые сканирующие зондовые микроскопы. Метод проверки
• GOST 8.594-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Сканирующие электронные микроскопы. Метод проверки

GOST R 8.592-2009 История

• 2009 GOST R 8.592-2009 Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение рельефа монокристаллического кремния нанометрового диапазона. Геометрические формы, линейные размеры и требования к материалам изготовления.
• 2002 GOST R 8.592-2002 Государственная система обеспечения единства измерений. Тепловая энергия, получаемая потребителями в системе водяного теплоснабжения. Типовая процедура измерений