IEC 62047-8:2011
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 8. Метод испытания полос на изгиб для измерения свойств тонких пленок на растяжение.

Стандартный №

IEC 62047-8:2011

Дата публикации

2011

Разместил

International Electrotechnical Commission (IEC)

Последняя версия

IEC 62047-8:2011

заменить на

SANS 20013:2004

заменять

IEC 47F/71/FDIS:2010

сфера применения

Этот международный стандарт определяет метод испытания полос на изгиб для измерения свойств тонких пленок на растяжение с высокой точностью @ повторяемостью @ умеренными усилиями при выравнивании и обращении по сравнению с обычным испытанием на растяжение. Этот метод испытаний действителен для образцов толщиной от 50 нм до нескольких мм и с соотношением сторон (отношение длины к толщине) более 300. Подвесная полоса (или мост) между двумя неподвижными опорами широко применяется в МЭМС или микромашины. Изготовить эти полоски гораздо проще, чем обычные образцы для испытаний на растяжение. Процедуры тестирования настолько просты, что их можно легко автоматизировать. Этот международный стандарт можно использовать в качестве теста контроля качества при производстве МЭМС, поскольку производительность его испытаний очень высока по сравнению с обычным испытанием на растяжение.

IEC 62047-8:2011 История

• 2011 IEC 62047-8:2011 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 8. Метод испытания полос на изгиб для измерения свойств тонких пленок на растяжение.

IEC 62047-8:2011 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Часть 8. Метод испытания полос на изгиб для измерения свойств тонких пленок на растяжение. было изменено на SANS 20013:2004 Единообразные предписания, касающиеся официального утверждения транспортных средств категорий M, N и O в отношении торможения.