GB/T 17874-2010 (Англоязычная версия) Газы для электронной промышленности.Трихлорид бора

Стандартный №: GB/T 17874-2010
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2011
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
состояние: быть заменен 2022-05
быть заменен: GB/T 17874-2021
Последняя версия: GB/T 17874-2021
заменять: GB/T 17874-1999

сфера применения: Настоящий стандарт определяет технические требования, методы испытаний, знаки, упаковку, хранение и транспортировку, а также безопасность трихлорида бора. Настоящий стандарт распространяется на трихлорид бора, полученный из сырого трихлорида бора в качестве сырья, который очищается адсорбционными, ректификационными и другими методами. В основном он используется в процессах диффузии, ионной имплантации и сухого травления, используемых при производстве полупроводниковых приборов.

GB/T 17874-2010 Ссылочный документ

GB 14193 Правила наполнения баллонов сжиженным газом
GB 190 Символ упаковки опасных грузов
GB 5099 Бесшовные стальные газовые баллоны
GB 7144 Цветная маркировка баллона для газов
GB/T 26571 Спецификация срока годности специального газа*， 2011-06-16 Обновление
GB/T 3723 Отбор проб химических продуктов для промышленного использования. Безопасность при отборе проб.
GB/T 8984 Определение угарного газа, углекислого газа и углеводородов в газах. Газохроматографический метод