GB/T 26113-2010 (Англоязычная версия) Технология микроэлектромеханических систем. Общие правила оценки микрогеометрических параметров.

Стандартный №: GB/T 26113-2010
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2011
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 26113-2010

сфера применения: Настоящий стандарт определяет основные принципы, элементы оценки, процедуры оценки, методы оценки и правила оценки микрогеометрических величин. Этот стандарт применим к предприятиям, исследовательским и испытательным учреждениям, занимающимся исследованиями, проектированием, производством и тестированием технологий и продуктов MEMS.

GB/T 26113-2010 Ссылочный документ

GB/T 18779.2 Геометрическая спецификация изделия (GPS). Проверка заготовок и измерительного оборудования. Часть 2. Руководство по оценке неопределенности измерений при измерениях GPS, калибровке измерительного оборудования и проверке продукции.*， 2023-03-17 Обновление
GB/T 26111 Техническая терминология микроэлектромеханических систем (МЭМС)*， 2023-05-23 Обновление
GB/T 3505 Геометрические характеристики изделия (GPS). Текстура поверхности: метод профиля. Термины, определения и параметры текстуры поверхности.

2011 GB/T 26113-2010 Технология микроэлектромеханических систем. Общие правила оценки микрогеометрических параметров.