General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия
GB/T 26112-2010
сфера применения
Настоящий стандарт определяет основные принципы, элементы оценки, процедуры оценки, методы оценки и правила оценки микромеханических величин. Этот стандарт применим к предприятиям, исследовательским и испытательным учреждениям, занимающимся исследованиями, проектированием, производством, тестированием и использованием технологий и продуктов MEMS.
GB/T 26112-2010 Ссылочный документ
GB/T 26111 Техническая терминология микроэлектромеханических систем (МЭМС)*, 2023-05-23 Обновление
GB/T 26112-2010 История
2011GB/T 26112-2010 Технология микроэлектромеханических систем. Общие правила оценки микромеханических параметров.