ISO/TS 25138:2010 Химический анализ поверхности. Анализ пленок оксидов металлов методом оптико-эмиссионной спектрометрии тлеющего разряда.

сфера применения: В настоящем Техническом задании описан оптико-эмиссионный спектрометрический метод тлеющего разряда для определения толщины, массы единицы площади и химического состава пленок оксидов металлов. Этот метод применим к оксидным пленкам металлов толщиной от 1 до 10 000 нм. Металлические элементы оксида могут включать один или несколько элементов из Fe, Cr, Ni, Cu, Ti, Si, Mo, Zn, Mg, Mn и Al. Другими элементами, которые можно определить с помощью этого метода, являются O, C, N, H, P и S.

ISO/TS 25138:2010 Ссылочный документ

ISO 14284 Сталь и железо. Отбор и подготовка проб для определения химического состава.*， 2022-10-25 Обновление
ISO 14707 Химический анализ поверхности. Оптическая эмиссионная спектрометрия тлеющего разряда (GD-OES). Введение в использование.*， 2021-02-28 Обновление
ISO 16962:2005 Химический анализ поверхности. Анализ металлических покрытий на основе цинка и/или алюминия методом оптико-эмиссионной спектрометрии тлеющего разряда.

2019 ISO/TS 25138:2019 Химический анализ поверхности. Анализ пленок оксидов металлов методом оптико-эмиссионной спектрометрии тлеющего разряда.
2010 ISO/TS 25138:2010 Химический анализ поверхности. Анализ пленок оксидов металлов методом оптико-эмиссионной спектрометрии тлеющего разряда.