BS EN 62047-6:2010
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Методы испытаний тонкопленочных материалов на осевую усталость.

Стандартный №

BS EN 62047-6:2010

Дата публикации

2010

Разместил

British Standards Institution (BSI)

Последняя версия

BS EN 62047-6:2010

сфера применения

Настоящий международный стандарт определяет метод усталостных испытаний на осевое растяжение-растяжение тонкопленочных материалов длиной и шириной менее 1 мм и толщиной в диапазоне от 0,1 мкм до 10 мкм в диапазоне постоянных усилий или в диапазоне постоянного смещения. Тонкие пленки используются в качестве основных конструкционных материалов для МЭМС и микромашин. Основные конструкционные материалы для МЭМС, микромашин и т. д. обладают особенностями, такими как типичные размеры в несколько микрон, изготовление материалов методом осаждения, изготовление образцов методами немеханической обработки, в том числе фотолитографии. Настоящий международный стандарт определяет методы испытаний на усталость при осевой силе для гладких образцов микроразмеров, что позволяет гарантировать точность, соответствующую особым характеристикам. Испытания проводят при комнатной температуре, на воздухе, с нагрузкой, прикладываемой к образцу вдоль продольной оси.

BS EN 62047-6:2010 История

• 2010 BS EN 62047-6:2010 Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические устройства. Методы испытаний тонкопленочных материалов на осевую усталость.