Настоящий стандарт определяет требования, методы испытаний, правила контроля, маркировку, упаковку, транспортирование, хранение и содержание формы заказа (договора) на ниобиевые мишени, используемые для оптических пленок планарного магнетронного распыления. Настоящий стандарт распространяется на ниобиевые мишени для тонких оптических пленок, наносимых планарным магнетроном.
YS/T 718-2009 Ссылочный документ
GB/T 15706 Безопасность машин. Общие принципы проектирования. Оценка рисков и снижение рисков.*, 2012-11-05 Обновление