GB/T 14603-2009 (Англоязычная версия) Газы для электронной промышленности.Трифторид бора

Стандартный №: GB/T 14603-2009
язык: Китайский, Доступно на английском
Дата публикации: 2009
Разместил: General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China
Последняя версия: GB/T 14603-2009
заменять: GB/T 14603-1993

сфера применения: Настоящий стандарт устанавливает технические требования, методы испытаний, правила проверки, знаки, упаковку, транспортировку, хранение и требования безопасности для трифторида бора, используемого в электронной промышленности. Настоящий стандарт распространяется на трифторид бора, полученный путем прямого смешивания и очистки с использованием газообразного фтора и простого бора в качестве сырья; и трифторид бора, полученный термическим разложением фторбората натрия в качестве сырья и очищенного бора. В основном его используют для ионной имплантации и легирования при производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.

GB/T 14603-2009 Ссылочный документ

GB 14194-2006 Правила наполнения постоянных газовых баллонов
GB 190-2009 Символ упаковки опасных грузов
GB 7144-1999 Цветная маркировка баллона для газов
GB/T 3723-1999 Отбор проб химических продуктов для промышленного использования. Безопасность при отборе проб.